Trace analysis of specialty and electronic gases /

Explores the latest advances and applications of specialty and electronic gas analysis The semiconductor industry depends upon a broad range of instrumental techniques in order to detect and analyze impurities that may be present in specialty and electronic gases, including permanent gases, water va...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Geiger, William M., 1948-
Άλλοι συγγραφείς: Raynor, Mark W., 1961-
Μορφή: Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Hoboken : Wiley, [2013]
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link