Glancing angle deposition of thin films : engineering the nanoscale /

• Κύριος συγγραφέας: Hawkeye, Matthew M.
• Άλλοι συγγραφείς: Taschuk, Michael T., Brett, Michael J.
• Μορφή: Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Chichester, West Sussex, United Kingdom : Wiley, [2014]
• Σειρά: Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications.
• Θέματα: Nanotechnology.; Chemical vapor deposition.; Nanoelectromechanical systems > Design and construction.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical; Electronic books.
• Φυσική περιγραφή: 1 online resource.
• Βιβλιογραφία: Includes bibliographical references and index.
• ISBN: 9781118847336 (ePub); 1118847334 (ePub); 9781118847329 (Adobe PDF); 1118847326 (Adobe PDF); 9781118847510 (electronic bk.); 1118847512 (electronic bk.); 1118847563; 9781118847565
• DOI: 10.1002/9781118847510