Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου με πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων

• Κύριος συγγραφέας: Δημητρακέλλης, Παναγιώτης Δ. (Συγγραφέας)
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: Greek
• Θέματα: Ημιαγωγοί; Χημική εναπόθεση ατμών; Πυρίτιο