Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου με πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Δημητρακέλλης, Παναγιώτης Δ. (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://hdl.handle.net/10889/7628
LEADER 01628nam a2200277 u 4500
001 10113506
003 upatras
005 20210117205108.0
008 140818s2014 gr gre
040 |a GR-PaULI  |c GR-PaULI 
041 0 |a gre 
082 0 4 |a 621.381 52 
100 1 |a Δημητρακέλλης, Παναγιώτης Δ.  |4 aut  |9 139728 
245 1 0 |a Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου με πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων  |c Παναγιώτη Δ. Δημητρακέλλη; Πανεπιστήμιο Πατρών, Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών 
300 |a 210 σ.  |b εικ.  |c 30 εκ. 
504 |a Περιλαμβάνει βιβλιογραφία 
650 4 |a Ημιαγωγοί  |9 722 
650 4 |a Χημική εναπόθεση ατμών  |9 139729 
650 4 |a Πυρίτιο  |9 76696 
700 1 |a Αμανατίδης, Ελευθέριος Κ.  |4 oth  |9 30325 
710 2 |9 2771  |a Πανεπιστήμιο Πατρών  |b Σχολή Επιστημών Υγείας  |b Τμήμα Ιατρικής  |e Πολυτεχνική Σχολή  |e Τμήμα Χημικών Μηχανικών 
852 |a GR-PaULI  |b ΠΑΤΡΑ  |b ΒΚΠ  |b ΑΝΕ  |k ΔΙΑΤΡΙΒΗ  |h 621.381 52 ΔΗΜ  |m 122048  |p 025000239765  |t 1 
856 |u http://hdl.handle.net/10889/7628 
942 |2 ddc  |c BKTD 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_381000000000000_52_ΔΗΜ  |7 0  |9 168678  |a LISP  |b LISP  |c RES  |d 2016-04-24  |i 122048  |l 0  |o 621.381 52 ΔΗΜ  |p 025000239765  |r 2016-04-24 00:00:00  |t 1  |w 2016-04-24  |y BKTD 
999 |c 105485  |d 105485