Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου

• Main Author: Σπηλιόπουλος, Νικόλαος Σ.
• Format: Book
• Language: Greek
• Published: Πάτρα 1997
• Subjects: Χημική τεχνολογία > Πλάσμα; Χημικοί αντιδραστήρες