Process engineering analysis in semiconductor device fabrication

• Κύριος συγγραφέας: Middleman, Stanley
• Άλλοι συγγραφείς: Hochberg, Arthur K.
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: New York McGraw - Hill 1993
• Σειρά: McGraw - Hill chemical engineering series
• Θέματα: Ηλεκτρονικά
• Φυσική περιγραφή: xvii, 774 p. fig., tab. 23 cm
• ISBN: 0071127445