Semiconductor micromachining

• Άλλοι συγγραφείς: Campbell, S. A. (Επιμελητής έκδοσης), Lewerenz, H. J. (Επιμελητής έκδοσης)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Chichester Wiley 1998
• Θέματα: Ημιαγωγοί; Ημιαγωγοί > Ιδιότητες; Μικροηλεκτρονική