Semiconductor micromachining

• Άλλοι συγγραφείς: Campbell, S. A. (Επιμελητής έκδοσης), Lewerenz, H. J. (Επιμελητής έκδοσης)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Chichester Wiley 1998
• Θέματα: Ημιαγωγοί; Ημιαγωγοί > Ιδιότητες; Μικροηλεκτρονική
• Φυσική περιγραφή: 2 v. fig., tab. 24 cm.
• Βιβλιογραφία: Includes bibliographical references and index
• ISBN: 0471966819; 0471966827; 0471980846