Semiconductor micromachining

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Campbell, S. A. (Επιμελητής έκδοσης), Lewerenz, H. J. (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Chichester Wiley 1998
Θέματα:
Πίνακας περιεχομένων:
  • v.1. Fundamental electrochemistry and physics. - xii, 315 p.
  • v.2. Techniques and industrial applications. - xii, 389 p.