Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

• Κύριος συγγραφέας: Hammad, Ahmad D.
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: Πάτρα [χ.ό] 2004
• Θέματα: Χημική τεχνολογία; Χημικοί αντιδραστήρες