Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Hammad, Ahmad D.
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: Πάτρα [χ.ό] 2004
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/235
LEADER 01642nam a2200277 u 4500
001 10067101
003 upatras
005 20240515063254.0
008 080711s2004 gr gre
040 |a GR-PaULI  |c GR-PaULI 
041 0 |a gre 
082 0 4 |a 660.044 
100 1 |a Hammad, Ahmad D.  |9 61055 
245 1 0 |a Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος  |b μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης  |c Ahmad D. Hammad; Πανεπιστήμιο Πατρών, Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών 
260 |a Πάτρα  |b [χ.ό]  |c 2004 
300 |a xxvi, 212 σ.  |c 30 εκ. 
504 |a Περιλαμβάνει βιβλιογραφία 
650 0 |a Χημική τεχνολογία  |9 816 
650 4 |a Χημικοί αντιδραστήρες  |9 9607 
710 2 |9 2771  |a Πανεπιστήμιο Πατρών  |b Σχολή Επιστημών Υγείας  |b Τμήμα Ιατρικής  |e Πολυτεχνική Σχολή  |e Τμήμα Χημικών Μηχανικών 
852 |a GR-PaULI  |b ΠΑΤΡΑ  |b ΒΚΠ  |b ΑΝΕ  |k ΔΙΑΤΡΙΒΗ  |h 660.044 HAM  |m 092487  |p 025000157935  |t 1 
856 |u http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/235 
942 |2 ddc  |c BKTD 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 660_044000000000000_HAM  |7 0  |9 67394  |a LISP  |b LISP  |c RES  |d 2016-04-24  |i 092487  |l 0  |o 660.044 HAM  |p 025000157935  |r 2016-04-24 00:00:00  |t 1  |w 2016-04-24  |y BKTD 
998 |c ΜΗΤΡΕΛΗΣ  |d 2008-07 
999 |c 43393  |d 43393