Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Hammad, Ahmad D.
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: Πάτρα [χ.ό] 2004
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/235

Παρόμοια τεκμήρια