Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

• Main Author: Hammad, Ahmad D.
• Corporate Author: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Format: Book
• Language: Greek
• Published: Πάτρα [χ.ό] 2004
• Subjects: Χημική τεχνολογία; Χημικοί αντιδραστήρες