FrΓΌhauf, J. (2005). Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures. Springer-Verlag Berlin Heidelberg.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)FrΓΌhauf, Joachim. Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures. Berlin, Heidelberg: Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2005.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)FrΓΌhauf, Joachim. Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures. Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2005.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.