Fundamentals of semiconductor fabrication

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: May, Gary S. (Συγγραφέας), Sze, S. M., 1936- (Συγγραφέας)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: New York John Wiley & Sons, Inc. 2004
Θέματα:
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:v, 327 p. fig., tab. 25 cm.
Βιβλιογραφία:Includes references and index
ISBN:0471232793