Fundamentals of semiconductor fabrication

• Main Authors: May, Gary S. (Author), Sze, S. M., 1936- (Author)
• Format: Book
• Language: English
• Published: New York John Wiley & Sons, Inc. 2004
• Subjects: Ημιαγωγοί; Ημιαγωγοί > Ιδιότητες; Ολοκληρωμένα κυκλώματα > Σχέδιο και κατασκευή
• Physical Description: v, 327 p. fig., tab. 25 cm.
• Bibliography: Includes references and index
• ISBN: 0471232793