Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges

This book resulted from the NATO Advanced Research Workshop on “Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges,” held in St. Petersburg, Russia, on May 19-23, 1997. Glow discharges have found widespread applications in many technological processes from the manufacture of semiconductors, to re...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Άλλοι συγγραφείς: Kortshagen, Uwe (Επιμελητής έκδοσης), Tsendin, Lev D. (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston, MA : Springer US, 1998.
Σειρά:NATO Science Series: B, Advanced Science Institutes Series, 367
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link

Παρόμοια τεκμήρια