MEMS Materials and Processes Handbook

• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
• Άλλοι συγγραφείς: Ghodssi, Reza (Επιμελητής έκδοσης), Lin, Pinyen (Επιμελητής έκδοσης)
• Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Boston, MA : Springer US : Imprint: Springer, 2011.
• Σειρά: MEMS Reference Shelf, 1
• Θέματα: Engineering.; Electronics.; Microelectronics.; Electronic circuits.; Materials science.; Materials > Surfaces.; Thin films.; Electronics and Microelectronics, Instrumentation.; Materials Science, general.; Circuits and Systems.; Surfaces and Interfaces, Thin Films.

MEMS Materials and Processes Handbook is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on 'Materials' and 'Processes'. The...