Metal-Dielectric Interfaces in Gigascale Electronics Thermal and Electrical Stability /

Metal-dielectric interfaces are ubiquitous in modern electronics. As advanced gigascale electronic devices continue to shrink, the stability of these interfaces is becoming an increasingly important issue that has a profound impact on the operational reliability of these devices. In this book, the a...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: He, Ming (Συγγραφέας), Lu, Toh-Ming (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: New York, NY : Springer New York, 2012.
Σειρά:Springer Series in Materials Science, 157
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Preface
  • 1. Introduction
  • 2. Metal-Dielectric Diffusion Processes: Fundamentals
  • 3. Experimental Techniques
  • 4. Al-Dielectric Interfaces
  • 5. Cu-Dielectric Interfaces
  • 6. Barrier Metal-Dielectric Interfaces
  • 7. Self-Forming Barriers. 8. Kinetics of Ion Drift
  • 9. Time-Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) and Future Directions.