Piezoelectric MEMS Resonators

• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
• Άλλοι συγγραφείς: Bhugra, Harmeet (Επιμελητής έκδοσης), Piazza, Gianluca (Επιμελητής έκδοσης)
• Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Cham : Springer International Publishing : Imprint: Springer, 2017.
• Σειρά: Microsystems and Nanosystems,
• Θέματα: Engineering.; Nanotechnology.; Electronics.; Microelectronics.; Optical materials.; Electronic materials.; Electronics and Microelectronics, Instrumentation.; Nanotechnology and Microengineering.; Optical and Electronic Materials.

This book introduces piezoelectric microelectromechanical (pMEMS) resonators to a broad audience by reviewing design techniques including use of finite element modeling, testing and qualification of resonators, and fabrication and large scale manufacturing techniques to help inspire future research...