Dielectric Breakdown in Gigascale Electronics Time Dependent Failure Mechanisms /

This book focuses on the experimental and theoretical aspects of the time-dependent breakdown of advanced dielectric films used in gigascale electronics. Coverage includes the most important failure mechanisms for thin low-k films, new and established experimental techniques, recent advances in the...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Borja, Juan Pablo (Συγγραφέας), Lu, Toh-Ming (Συγγραφέας), Plawsky, Joel (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Cham : Springer International Publishing : Imprint: Springer, 2016.
Σειρά:SpringerBriefs in Materials,
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Introduction
  • General Theories
  • Measurement Tools and Test Structures
  • Experimental Techniques
  • Breakdown Experiments
  • Kinetics of Charge Carrier Confinement in Thin Dielectrics
  • Theory of Dielectric Breakdown in Nanoporous Thin Films
  • Dielectric Breakdown in Copper Interconnects
  • Reconsidering Conventional Models.