Laser Heat-Mode Lithography Principle and Methods /

This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical experimental results and applicati...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Wei, Jingsong (Συγγραφέας, http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Singapore : Springer Singapore : Imprint: Springer, 2019.
Έκδοση:1st ed. 2019.
Σειρά:Springer Series in Materials Science, 291
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link

Παρόμοια τεκμήρια