Ηλεκτρικός και οπτικός χαρακτηρισμός χωρητικά συζευγμένων εκκενώσεων ραδιοσυχνότητας

• Main Author: Τσιγάρας, Ιωάννης
• Other Authors: Ματαράς, Δημήτριος
• Format: Thesis
• Language: English
• Published: 2019
• Subjects: Πλάσμα; Χωρητικά συζευγμένες εκκενώσεις; Ηλεκτρικός χαρακτηρισμός; Οπτικός χαρακτηρισμός; Plasma; RF; Capacitively coupled discharges; Electrical characterization; Optical characterization; 621.381

Τις τελευταίες δεκαετίες οι εκκενώσεις αίγλης με τάση διέγερσης ραδιοσυχνότητας χρησιμοποιούνται ευρέως λόγω της εφαρμογής τους στη παρασκευή ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών κελιών. Λόγω της πολύπλοκης φύσης των διεργασιών πλάσματος, είναι απαραίτητος ο έλεγχος των ιδιοτήτων τους για τη βελτιστοποίηση τ...