Μέθοδοι χειρισμού μικροαντικειμένων για διαχωρισμό και συναρμολόγηση
Τα τελευταία χρόνια η ανάπτυξη μεθόδων για τη μαζική σύνθεση και παραγωγή Μικροηλεκτρομηχανικών Συστημάτων (MEMS) είναι ένα ερευνητικό πεδίο με ιδιαίτερο ενδιαφέρον. Κατά τη διαδικασία της παραγωγής των MEMS χρησιμοποιούνται ειδικά σχεδιασμένα μίκρο - εργαλεία όπως ρομποτικές μίκρο – αρπάγες και μίκ...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Language: | Greek |
Published: |
2020
|
Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/10889/13739 |