Αλληλεπίδραση ηλεκτροδίων - διηλεκτρικών υψηλής διηλεκτρικής σταθεράς σε δομές MIS ημιαγωγών της ομάδας IV
Το Al2O3 αποτελεί ένα από τα κύρια υποψήφια high-k οξείδια, σε μια μελλοντική τεχνολογία CMOS που θα βασίζεται στο Γερμάνιο. Προς την κατεύθυνση της βελτιστοποίησης της διεπιφάνειας Al2O3/Ge, έχουν προταθεί ποικίλες μέθοδοι, στις οποίες εμπλέκονται διαφορετικά στάδια της κατασκευής δομών MOS. Σε προ...
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Γλώσσα: | Greek |
Έκδοση: |
2022
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://hdl.handle.net/10889/15858 |