Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος : μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

• Κύριος συγγραφέας: Ahmad, Hammad D.
• Άλλοι συγγραφείς: Ραπακούλιας, Δημήτριος
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: 2007
• Θέματα: Μικροκρυσταλλικό πυρίτιο; Πλάσμα; 660.044

Η αναγνώριση του πλάσματος ως μιας ιδιαίτερης κατάστασης της ύλης οφείλεται στον Langmuir [1]. Κατά τη διάρκεια πειραμάτων του το 1923 σε ηλεκτρικές εκκενώσεις ατμών υδραργύρου χαμηλής πίεσης, ονόμασε ως πλάσμα το ιονισμένο αέριο το οποίο βρισκόταν σε μια ιδιαίτερη κατάσταση ύλης, με ιδιαίτερες οπτι...