Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος : μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

• Κύριος συγγραφέας: Ahmad, Hammad D.
• Άλλοι συγγραφείς: Ραπακούλιας, Δημήτριος
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: 2007
• Θέματα: Μικροκρυσταλλικό πυρίτιο; Πλάσμα; 660.044

Η αναγνώριση του πλάσματος ως μιας ιδιαίτερης κατάστασης της ύλης οφείλεται στον Langmuir [1]. Κατά τη διάρκεια πειραμάτων του το 1923 σε ηλεκτρικές εκκενώσεις ατμών υδραργύρου χαμηλής πίεσης, ονόμασε ως πλάσμα το ιονισμένο αέριο το οποίο βρισκόταν σε μια ιδιαίτερη κατάσταση ύλης, με ιδιαίτερες οπτικές και ηλεκτρικές ιδιότητες. Στις ηλεκτρικές εκκενώσεις το πρόδρομο αέριο μπορεί να ιονιστεί ή να διασπασθεί προς ελεύθερες ρίζες ή να διεγερθεί περιστροφικά, δονητικά ή ηλεκτρονιακά. Τα προϊόντα αυτών των διεργασιών είναι ελεύθερα ηλεκτρόνια, άτομα και μόρια που μπορούν στη συνέχεια να συμμετάσχουν σε αντιδράσεις στην αέρια φάση ή σε επιφανειακές αντιδράσεις οδηγώντας είτε στην εναπόθεση είτε στην εγχάραξη λεπτών υμενίων. Επιπλέον, η ενέργεια που μεταφέρεται από το πλάσμα στο υπόστρωμα, μπορεί να προκαλέσει τη θέρμανση του υποστρώματος ή την ενίσχυση των επιφανειακών αντιδράσεων. Το πλάσμα είναι κατά μέσο όρο ηλεκτρικά ουδέτερο. Κάθε φορτισμένο σωματίδιο μέσα στο πλάσμα αλληλεπιδρά ταυτοχρόνως με πολλά άλλα, επειδή οι ηλεκτροστατικές δυνάμεις που αναπτύσσονται μπορούν και επιδρούν σε μεγάλες 8 αποστάσεις. Αυτός είναι ο λόγος που παρουσιάζει το πλάσμα μια συλλογική συμπεριφορά [2]. Λεπτομερής περιγραφή του πλάσματος μπορεί να βρεθεί στη βιβλιογραφία [3-7].