Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος : μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης
Η αναγνώριση του πλάσματος ως μιας ιδιαίτερης κατάστασης της ύλης οφείλεται στον Langmuir [1]. Κατά τη διάρκεια πειραμάτων του το 1923 σε ηλεκτρικές εκκενώσεις ατμών υδραργύρου χαμηλής πίεσης, ονόμασε ως πλάσμα το ιονισμένο αέριο το οποίο βρισκόταν σε μια ιδιαίτερη κατάσταση ύλης, με ιδιαίτερες οπτι...
Κύριος συγγραφέας: | Ahmad, Hammad D. |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | Ραπακούλιας, Δημήτριος |
Γλώσσα: | Greek |
Έκδοση: |
2007
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/235 |
Παρόμοια τεκμήρια
-
Εφαρμογές διαγνωστικών μεθόδων πλάσματος στην παραγωγή μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου
ανά: Στάμος, Σπυρίδων
Έκδοση: (2009) -
Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου με πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων
ανά: Δημητρακέλλη, Παναγιώτης
Έκδοση: (2014) -
Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιο-συχνότητας
ανά: Αμανατίδης, Ελευθέριος
Έκδοση: (2009) -
Εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου : ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων
ανά: Ματαράς, Δημήτρης
Έκδοση: (2009) -
Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου
ανά: Σπηλιόπουλος, Νικόλαος
Έκδοση: (2009)