Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιο-συχνότητας

• Main Author: Αμανατίδης, Ελευθέριος
• Other Authors: Ραπακούλιας, Δ.
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2009
• Subjects: Χημική τεχνολογία; Πλάσμα; Φασματοσκοπία Raman; Chemical technology; Plasma; Spectroscopy Raman; 660.044

-