Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιο-συχνότητας

-

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Αμανατίδης, Ελευθέριος
Άλλοι συγγραφείς: Ραπακούλιας, Δ.
Μορφή: Thesis
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: 2009
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/2378

Παρόμοια τεκμήρια