Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιο-συχνότητας
-
Κύριος συγγραφέας: | Αμανατίδης, Ελευθέριος |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | Ραπακούλιας, Δ. |
Μορφή: | Thesis |
Γλώσσα: | Greek |
Έκδοση: |
2009
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/2378 |
Παρόμοια τεκμήρια
-
Εφαρμογές διαγνωστικών μεθόδων πλάσματος στην παραγωγή μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου
ανά: Στάμος, Σπυρίδων
Έκδοση: (2009) -
Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος : μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης
ανά: Ahmad, Hammad D.
Έκδοση: (2007) -
Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιοσυχνότητας
ανά: Αμανατίδης, Ελευθέριος Κ.
Έκδοση: (2001) -
Εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου : ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων
ανά: Ματαράς, Δημήτρης
Έκδοση: (2009) -
Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου
ανά: Σπηλιόπουλος, Νικόλαος
Έκδοση: (2009)