Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου

• Main Author: Σπηλιόπουλος, Νικόλαος
• Other Authors: Ραπακούλιας, Δ.
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2009
• Subjects: Χημική τεχνολογία; Πλάσμα; Χημικοί αντιδραστήρες; Chemical technology; Plasma; Chemical reactors; 660.044

-