Προσομοίωση ηλεκτρομαγνητικής συμπεριφοράς σε αντιδραστήρες αερίων χαμηλής πίεσης και ασθενούς ιονισμού

• Κύριος συγγραφέας: Σφήκας, Σπυρίδων
• Άλλοι συγγραφείς: Ραπακούλιας, Δημήτριος
• Μορφή: Thesis
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: 2010
• Θέματα: Αριθμητική προσομοίωση; Ρευστοδυναμικό μοντέλο; Υβριδικό μοντέλο; Πλάσμα; Πλάσμα επαγωγικής ζεύξης; Ανώμαλη επιδερμική διείσδυση; Αλληλεπίδραση κύματος-σωματιδίου; Εκκένωση αερίου; Πηγές πλάσματος; Ηλεκτρομαγνητικό πεδίο; Αυτάρκες μοντέλο; Διάδοση πλάσματος; Εξίσωση Boltzmann; Αριθμητική επίλυση; Συντονισμός κυκλοτρονίου; Numerical simulation; Fluid model; Hybrid model; Plasma; Inductively coupled plasma; Cyclotron resonance; Anomalous skin effect; Wave-particle interaction; Gas discharge; Plasma sources; Electromagnetic field; Self-consistent model; Plasma expansion; Boltzmann equation; 530.44

Οι πηγές πλάσματος επαγωγικής ζεύξης (Inductively Coupled Plasma Sources – ICP’s), παρέχουν πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων σε χαμηλή πίεση και έχουν ευρεία εφαρμογή στη σύγχρονη βιομηχανία ημιαγωγών και την κατεργασία επιφανειών. Σε πολύ χαμηλές πιέσεις, (~mTorr), οι εκκενώσεις πλάσματος παρου...