Πεδιακές μέθοδοι συναρμολόγησης μικροαντικειμένων

• Main Author: Λαζάρου, Παναγιώτης
• Other Authors: Ασπράγκαθος, Νικόλαος
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2010
• Subjects: Μικροσυναρμολόγηση; Μικρο-ηλεκτρο-μηχανικά συστήματα (MEMS); Πεδία δυνάμεων; Microassembly; Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS); Force fields; 621.381

Στις τελευταίες δεκαετίες η σμίκρυνση (miniaturization) έχει αποτελέσει ένα σημαντικό παράγοντα στην ανάπτυξη της τεχνολογίας. Ένας από τους κύριους στόχους της μέσω της μικρομηχανικής (micro-engineering) είναι η παραγωγή ολοκληρωμένων Μικρο-Ηλεκτρο-Μηχανικών Συστημάτων (MEMS), τα οποία χρηςιμοποιού...