| Περίληψη: | Στις τελευταίες δεκαετίες η σμίκρυνση (miniaturization) έχει αποτελέσει ένα σημαντικό παράγοντα στην ανάπτυξη της τεχνολογίας. Ένας από τους κύριους στόχους της μέσω της μικρομηχανικής (micro-engineering) είναι η παραγωγή ολοκληρωμένων Μικρο-Ηλεκτρο-Μηχανικών Συστημάτων (MEMS), τα οποία χρηςιμοποιούνται σήμερα ως υποσυστήματα σε πάρα πολλές εφαρμογές. Αντικείμενο της παρούσας διατριβής είναι ο παράλληλος χειρισμός καθώς και η ανοιχτού βρόχου/άνευ αισθητήρων συναρμολόγηση μικροαντικειμένων χωρίς τη χρήση μικροβραχιόνων. Για το σκοπό αυτό η έρευνα επικεντρώθηκε σε τέσσερις διαφορετικές διαδικασίες/προσεγγίσεις: α) το μικροχειρισμό με τρισδιάστατα πεδία δυνάμεων, β) το μικροχειρισμό με προγραμματιζόμενα πεδία δυνάμεων στο επίπεδο, γ) το χειρισμό μικροαντικειμένων έγκλειστων σε σταγόνες υγρού και δ) την αυτοσυναρμολόγηση μικροαντικειμένων με ηλεκτροστατικές δυνάμεις.
|
|---|
