Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία

• Main Author: Κονισπολιάτης, Χρήστος
• Other Authors: Σβάρνας, Παναγιώτης
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2013
• Subjects: Επεξεργασία ψυχρού πλάσματος; Ξηρή εγχάραξη; Εγχάραξη ενεργητικών ιόντων; Χωρητικά συζευγμένο πλάσμα; Ραδιοσυχνότητα; Σχεδιασμός & κατασκευή αντιδραστήρα; Υψηλό κενό; Φασματοσκοπία οπτικής εκπομπής; Προφιλομετρία; Cold plasma; Dry etching; Reactive ion etching; Capacitively coupled plasma; Radiofrequency; Reactor design & fabrication; High vacuum; Optical emission spectroscopy; Profilometry; 621.381 52

Μια από τις σημαντικότερες τεχνικές εγχάραξης σε μίκρο και νάνο-κλίμακα είναι αυτή της ξηρής εγχάραξης με πλάσμα. Η παρούσα εργασία είχε σαν σκοπό την κατασκευή διάταξης επεξεργασίας ψυχρού πλάσματος χαμηλής πίεσης που να λειτουργεί στο πεδίο των ραδιοσυχνοτήτων, με την προοπτική να χρησιμοποιηθεί γ...