Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία
Μια από τις σημαντικότερες τεχνικές εγχάραξης σε μίκρο και νάνο-κλίμακα είναι αυτή της ξηρής εγχάραξης με πλάσμα. Η παρούσα εργασία είχε σαν σκοπό την κατασκευή διάταξης επεξεργασίας ψυχρού πλάσματος χαμηλής πίεσης που να λειτουργεί στο πεδίο των ραδιοσυχνοτήτων, με την προοπτική να χρησιμοποιηθεί γ...
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Thesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
2013
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://hdl.handle.net/10889/6421 |
| id |
nemertes-10889-6421 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nemertes-10889-64212022-09-05T20:48:53Z Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία Κονισπολιάτης, Χρήστος Σβάρνας, Παναγιώτης Πυργιώτη, Ελευθερία Konispoliatis, Christos Επεξεργασία ψυχρού πλάσματος Ξηρή εγχάραξη Εγχάραξη ενεργητικών ιόντων Χωρητικά συζευγμένο πλάσμα Ραδιοσυχνότητα Σχεδιασμός & κατασκευή αντιδραστήρα Υψηλό κενό Φασματοσκοπία οπτικής εκπομπής Προφιλομετρία Cold plasma Dry etching Reactive ion etching Capacitively coupled plasma Radiofrequency Reactor design & fabrication High vacuum Optical emission spectroscopy Profilometry 621.381 52 Μια από τις σημαντικότερες τεχνικές εγχάραξης σε μίκρο και νάνο-κλίμακα είναι αυτή της ξηρής εγχάραξης με πλάσμα. Η παρούσα εργασία είχε σαν σκοπό την κατασκευή διάταξης επεξεργασίας ψυχρού πλάσματος χαμηλής πίεσης που να λειτουργεί στο πεδίο των ραδιοσυχνοτήτων, με την προοπτική να χρησιμοποιηθεί για την επεξεργασία πολυμερών και άλλων υλικών που χρησιμοποιούνται στις μονώσεις υψηλών τάσεων ώστε να βελτιωθούν διάφορες ιδιότητές τους όπως η επιφανειακή υδροφοβία και η αντοχή στη ρύπανση. Ειδικότερα: Στο πρώτο κεφάλαιο γίνεται εισαγωγή του αναγνώστη στην επεξεργασία πλάσματος και συγκεκριμένα στην εγχάραξη και τους φυσικούς και χημικούς μηχανισμούς της. Αναλύεται η διάταξη RIE, η οποία εφαρμόζεται κατά την κατασκευή του συστήματος. Στο δεύτερο κεφάλαιο περιγράφεται ο σχεδιασμός και η κατασκευή της διάταξης επεξεργασίας, η οποία αποτελείτε από διακριτά μέρη όπως οι θάλαμοι, το πνευματικό σύστημα, το αντλητικό σύστημα και το σύστημα τροφοδοσίας της ισχύος. Δόθηκε ιδιαίτερη προσοχή στη λεπτομερή περιγραφή του κάθε εξαρτήματος που ενσωματώθηκε και ο εξειδικευμένος ρόλος του, ενώ τα αναλυτικά κατασκευαστικά σχέδια παρατίθενται στο παράρτημα. Στο τρίτο κεφάλαιο γίνεται βασικός χαρακτηρισμός του αντιδραστήρα. Δηλαδή, παρουσιάζονται οι ηλεκτρικές μετρήσεις οι οποίες ταυτίζονται με τη βιβλιογραφία, παρουσιάζονται οπτικές μετρήσεις από τις οποίες γίνεται ταυτοποίηση ενεργών σωματίων, τα οποία επίσης είναι σύμφωνα με τη βιβλιογραφία παρόμοιων συστημάτων και τέλος, γίνεται ενδεικτική επεξεργασία πολυμερούς και έλεγχος του αποτελέσματος, το οποίο είναι η πιστή απόδοση μοτίβου και ρυθμός εγχάραξης 30nm/min. Στο τέταρτο και τελευταίο κεφάλαιο προτείνονται μελλοντικές εργασίες και βελτιώσεις. One of the most prominent etching techniques at micro and nano-scale is dry plasma etching. This work’s purpose was the fabrication of a cold plasma low pressure radio-frequency processing rig, with the prospect of being used for polymer and other materials processing, that are used in high voltage insulators, in order to improve their surface properties such as hydrophobicity and pollution resistance. In particular; In the first chapter the reader is being introduced in plasma processing and in particular in etching and physical and chemical mechanisms. RIE set-up, which is to be applied in our rig, is being analyzed. In the second chapter the design and fabrication of the processing rig are being described, which includes parts like the chambers, the pneumatic system, the pumping system and the power delivery system. Special care has been given for a detailed description of every added component and its specialized role, while their analytical mechanical designs are collocated in the appendix. In the third chapter a basic characterization of the reactor is being delivered. Namely, we present electrical measurements which correspond precisely to bibliography and we also present optical measurements from which identification of reactive species is derived, also in accordance to bibliography. Finally, a polymeric substrate is indicatively processed and the result is the faithful pattern transfer by an etching rate of 30nm/min. In the fourth and last chapter, suggestions for future work and improvements are made. 2013-10-13T10:48:12Z 2013-10-13T10:48:12Z 2013-07-02 2013-10-13 Thesis http://hdl.handle.net/10889/6421 gr 0 application/pdf |
| institution |
UPatras |
| collection |
Nemertes |
| language |
Greek |
| topic |
Επεξεργασία ψυχρού πλάσματος Ξηρή εγχάραξη Εγχάραξη ενεργητικών ιόντων Χωρητικά συζευγμένο πλάσμα Ραδιοσυχνότητα Σχεδιασμός & κατασκευή αντιδραστήρα Υψηλό κενό Φασματοσκοπία οπτικής εκπομπής Προφιλομετρία Cold plasma Dry etching Reactive ion etching Capacitively coupled plasma Radiofrequency Reactor design & fabrication High vacuum Optical emission spectroscopy Profilometry 621.381 52 |
| spellingShingle |
Επεξεργασία ψυχρού πλάσματος Ξηρή εγχάραξη Εγχάραξη ενεργητικών ιόντων Χωρητικά συζευγμένο πλάσμα Ραδιοσυχνότητα Σχεδιασμός & κατασκευή αντιδραστήρα Υψηλό κενό Φασματοσκοπία οπτικής εκπομπής Προφιλομετρία Cold plasma Dry etching Reactive ion etching Capacitively coupled plasma Radiofrequency Reactor design & fabrication High vacuum Optical emission spectroscopy Profilometry 621.381 52 Κονισπολιάτης, Χρήστος Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| description |
Μια από τις σημαντικότερες τεχνικές εγχάραξης σε μίκρο και νάνο-κλίμακα είναι αυτή της ξηρής εγχάραξης με πλάσμα. Η παρούσα εργασία είχε σαν σκοπό την κατασκευή διάταξης επεξεργασίας ψυχρού πλάσματος χαμηλής πίεσης που να λειτουργεί στο πεδίο των ραδιοσυχνοτήτων, με την προοπτική να χρησιμοποιηθεί για την επεξεργασία πολυμερών και άλλων υλικών που χρησιμοποιούνται στις μονώσεις υψηλών τάσεων ώστε να βελτιωθούν διάφορες ιδιότητές τους όπως η επιφανειακή υδροφοβία και η αντοχή στη ρύπανση. Ειδικότερα:
Στο πρώτο κεφάλαιο γίνεται εισαγωγή του αναγνώστη στην επεξεργασία πλάσματος και συγκεκριμένα στην εγχάραξη και τους φυσικούς και χημικούς μηχανισμούς της. Αναλύεται η διάταξη RIE, η οποία εφαρμόζεται κατά την κατασκευή του συστήματος.
Στο δεύτερο κεφάλαιο περιγράφεται ο σχεδιασμός και η κατασκευή της διάταξης επεξεργασίας, η οποία αποτελείτε από διακριτά μέρη όπως οι θάλαμοι, το πνευματικό σύστημα, το αντλητικό σύστημα και το σύστημα τροφοδοσίας της ισχύος. Δόθηκε ιδιαίτερη προσοχή στη λεπτομερή περιγραφή του κάθε εξαρτήματος που ενσωματώθηκε και ο εξειδικευμένος ρόλος του, ενώ τα αναλυτικά κατασκευαστικά σχέδια παρατίθενται στο παράρτημα.
Στο τρίτο κεφάλαιο γίνεται βασικός χαρακτηρισμός του αντιδραστήρα. Δηλαδή, παρουσιάζονται οι ηλεκτρικές μετρήσεις οι οποίες ταυτίζονται με τη βιβλιογραφία, παρουσιάζονται οπτικές μετρήσεις από τις οποίες γίνεται ταυτοποίηση ενεργών σωματίων, τα οποία επίσης είναι σύμφωνα με τη βιβλιογραφία παρόμοιων συστημάτων και τέλος, γίνεται ενδεικτική επεξεργασία πολυμερούς και έλεγχος του αποτελέσματος, το οποίο είναι η πιστή απόδοση μοτίβου και ρυθμός εγχάραξης 30nm/min.
Στο τέταρτο και τελευταίο κεφάλαιο προτείνονται μελλοντικές εργασίες και βελτιώσεις. |
| author2 |
Σβάρνας, Παναγιώτης |
| author_facet |
Σβάρνας, Παναγιώτης Κονισπολιάτης, Χρήστος |
| format |
Thesis |
| author |
Κονισπολιάτης, Χρήστος |
| author_sort |
Κονισπολιάτης, Χρήστος |
| title |
Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| title_short |
Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| title_full |
Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| title_fullStr |
Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| title_full_unstemmed |
Εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| title_sort |
εγκατάσταση και μελέτη αντιδραστήρα τεχνολογικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων για εφαρμογές στη νανοτεχνολογία |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://hdl.handle.net/10889/6421 |
| work_keys_str_mv |
AT konispoliatēschrēstos enkatastasēkaimeletēantidrastēratechnologikouplasmatosradiosychnotētōngiaepharmogesstēnanotechnologia |
| _version_ |
1771297297590648832 |
