Διάχυση και ενεργοποίηση προσμίξεων τύπου p σε πυρίτιο υπό μηχανική τάση και γερμάνιο

• Main Author: Ιωάννου, Νικόλαος
• Other Authors: Πιζάνιας, Μιχαήλ
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2013
• Subjects: Ενεργοποίηση προσμίξεων; Διάχυση προσμίξεων; Gallium diffusion; Dopant coimplant in germanium; 621.381 52

Σκοπός της παρούσας διδακτορικής διατριβής είναι η μελέτη της επίδρασης των τεχνολογικών διεργασιών στην κινητική των προσμίξεων σε ημιαγωγούς της ομάδας IV καθώς και η διερεύνηση των φυσικών μηχανισμών που επηρεάζουν την κινητική των σημειακών ατελειών και κατ’ επέκταση τη διάχυση και ενεργοποίη...