Εναπόθεση οξειδίων του πυριτίου με πλάσμα οργανοπυριτικών ενώσεων για την προστασία μεταλλικών επιφανειών απο τη διάβρωση

• Main Author: Βούλγαρης, Χαράλαμπος
• Other Authors: Ματαράς, Δημήτριος
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2008
• Subjects: Πλάσμα; Διάβρωση; Plasma; Corrosion; Teos; 620.162 3

Τα λεπτά υμένια οξειδίων του πυριτίου (SiOx) χρησιμοποιούνται σήμερα ευρέως στην μικροηλεκτρονική και στη βιομηχανία συσκευασίας τροφίμων ενώ τα τελευταία χρόνια υπάρχει έντονο ερευνητικό ενδιαφέρον για την εφαρμογή τους στην προστασία μετάλλικών επιφανειών από την διάβρωση. Η χημική εναπόθεση SiOχ...