Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου με πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων

• Main Author: Δημητρακέλλη, Παναγιώτης
• Other Authors: Αμανατίδης, Ελευθέριος
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2014
• Subjects: Πλάσμα; Χημική εναπόθεση; Μικροκρυσταλλικό υδρογονωμένο πυρίτιο; Plasma; Chemical vapor deposition; Hydrogenated microcrystalline silicon; 621.381 52

Το μικροκρυσταλλικό υδρογονωμένο πυρίτιο (μc-Si:H) βρίσκει εφαρμογή ως ενδογενής ημιαγωγός σε φωτοβολταϊκές ιδιοσυσκευές λεπτών υμενίων πυριτίου απλής και ανάστροφης δομής (tandem). Η τυπική μέθοδος παρασκευής του υλικού είναι η χημική εναπόθεση ατμών ενισχυμένη με πλάσμα (Plasma Enhanced Chemical V...