System-level modeling of MEMS /

• Άλλοι συγγραφείς: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
• Μορφή: Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Weinheim : Wiley-VCH, [2013]
• Σειρά: Advanced micro et nanosystems ; 10.
• Θέματα: Microelectromechanical systems > Simulation methods.; Electronic books.
• Φυσική περιγραφή: 1 online resource.
• Βιβλιογραφία: Includes bibliographical references and index.
• ISBN: 9783527647132; 3527647139; 9783527647125; 3527647120
• DOI: 10.1002/9783527647132