Nano-lithography /

Lithography is an extremely complex tool - based on the concept of "imprinting" an original template version onto mass output - originally using relatively simple optical exposure, masking, and etching techniques, and now extended to include exposure to X-rays, high energy UV light, and el...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Landis, Stefan
Μορφή: Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: London : Wiley, 2013.
Σειρά:ISTE.
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link