Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

• Άλλοι συγγραφείς: Brand, Oliver, 1964- (Επιμελητής έκδοσης), Dufour, Isabelle (Electrical engineer) (Επιμελητής έκδοσης), Heinrich, Stephen M. (Επιμελητής έκδοσης), Josse, Fabien (Επιμελητής έκδοσης)
• Μορφή: Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Wiesbaden : Wiley-VCH Verlag & Co. KGaA, [2015]
• Σειρά: Advanced micro & nanosystems.
• Θέματα: Microelectromechanical systems > Design and construction.; Microfabrication.; Resonance.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Digital; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / General; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics; Electronic books.