Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

• Άλλοι συγγραφείς: Brand, Oliver, 1964- (Επιμελητής έκδοσης), Dufour, Isabelle (Electrical engineer) (Επιμελητής έκδοσης), Heinrich, Stephen M. (Επιμελητής έκδοσης), Josse, Fabien (Επιμελητής έκδοσης)
• Μορφή: Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Wiesbaden : Wiley-VCH Verlag & Co. KGaA, [2015]
• Σειρά: Advanced micro & nanosystems.
• Θέματα: Microelectromechanical systems > Design and construction.; Microfabrication.; Resonance.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Digital; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / General; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics; Electronic books.
• Φυσική περιγραφή: 1 online resource : illustrations.
• Βιβλιογραφία: Includes bibliographical references and index.
• ISBN: 9783527676361; 3527676368; 9783527676354; 352767635X; 9783527676347; 3527676341; 9783527676330; 3527676333; 3527335455; 9783527335459
• DOI: 10.1002/9783527676330