Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
Άλλοι συγγραφείς: | , , , |
---|---|
Μορφή: | Ηλ. βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Wiesbaden :
Wiley-VCH Verlag & Co. KGaA,
[2015]
|
Σειρά: | Advanced micro & nanosystems.
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | Full Text via HEAL-Link |