Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Brand, Oliver, 1964- (Επιμελητής έκδοσης), Dufour, Isabelle (Electrical engineer) (Επιμελητής έκδοσης), Heinrich, Stephen M. (Επιμελητής έκδοσης), Josse, Fabien (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή: Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Wiesbaden : Wiley-VCH Verlag & Co. KGaA, [2015]
Σειρά:Advanced micro & nanosystems.
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link