Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου με πλάσμα υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων

• Main Author: Δημητρακέλλης, Παναγιώτης Δ. (Author)
• Corporate Author: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Format: Book
• Language: Greek
• Subjects: Ημιαγωγοί; Χημική εναπόθεση ατμών; Πυρίτιο