Analysis and design principles of MEMS devices

• Κύριος συγγραφέας: Bao, Min-Hang
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: ScienceDirect (Online service)
• Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Amsterdam Boston London Elsevier 2005
• Θέματα: Μικροηλεκτρονική

Sensors and actuators are now part of our everyday life and appear in many appliances, such as cars, vending machines and washing machines. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are micro systems consisting of micro mechanical sensors, actuators and micro electronic circuits. A variety of MEMS dev...