Ηλεκτρικός και οπτικός χαρακτηρισμός χωρητικά συζευγμένων εκκενώσεων ραδιοσυχνότητας
Τις τελευταίες δεκαετίες οι εκκενώσεις αίγλης με τάση διέγερσης ραδιοσυχνότητας χρησιμοποιούνται ευρέως λόγω της εφαρμογής τους στη παρασκευή ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών κελιών. Λόγω της πολύπλοκης φύσης των διεργασιών πλάσματος, είναι απαραίτητος ο έλεγχος των ιδιοτήτων τους για τη βελτιστοποίηση τ...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10889/11905 |
