Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Kääriäinen, Tommi
Άλλοι συγγραφείς: Cameron, David, 1949-, Kääriäinen, Marja-Leena, Sherman, Arthur, 1931-
Μορφή: Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Salem, Massachusetts : Hoboken, New Jersey : Scrivener Publishing, LLC ; Wiley, [2013]
Έκδοση:2nd edition.
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link