Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | , , |
Μορφή: | Ηλ. βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Salem, Massachusetts : Hoboken, New Jersey :
Scrivener Publishing, LLC ; Wiley,
[2013]
|
Έκδοση: | 2nd edition. |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | Full Text via HEAL-Link |