Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /

• Κύριος συγγραφέας: Kääriäinen, Tommi
• Άλλοι συγγραφείς: Cameron, David, 1949-, Kääriäinen, Marja-Leena, Sherman, Arthur, 1931-
• Μορφή: Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Salem, Massachusetts : Hoboken, New Jersey : Scrivener Publishing, LLC ; Wiley, [2013]
• Έκδοση: 2nd edition.
• Θέματα: Chemical vapor deposition.; Epitaxy.; Microelectronics.; Nanotechnology.; SCIENCE > Nanoscience.; TECHNOLOGY & ENGINEERING > Nanotechnology & MEMS.; Nanotechnologie; Atomlagenabscheidung; Mikroelektromekaniska system.; Electronic books.
• Φυσική περιγραφή: 1 online resource.
• Βιβλιογραφία: Includes bibliographical references and index.
• ISBN: 9781118747384; 1118747380; 9781118747421; 1118747429; 9781118747346; 1118747348; 9781118747407; 1118747402; 9781299619128; 1299619126
• DOI: 10.1002/9781118747407